HDC8000/9000系统
HDC9000A 扩散炉控制系统由硬件部分和软件部分组成。软件部分为 HDC9000A扩散炉控制系统监控软件。硬件部分主要由温度控制单元（DTC-9000）、程序控制单元（DPC-9000）和工业控制计算机组成。每个炉管都由独立的 DTC 和 DPC 控制，互不影响，每台扩散炉使用一台工业控制计算机，计算机与各炉管控制单元（DTC、DPC）之间使用光电隔离通讯。 HDC9000A 控制软件菜单式操作、五级密码管理、界面丰富、控制操作简单、工艺编程方便，能储存数千条工艺曲线，可查看实时曲线、历史曲线、事件报警记录等，并可以根据需要添加网络功能。 HDC9000A 扩散炉控制系统控制精度及质量完全取代进口产品，可直接用于新设备制造和老设备的改造。可非常方便的改造进口 THERMCO(如：TMX9000、TMX10K)、TEMPRESS、BTU、ASM 等公司生产的 4”、5”、 6”扩散炉
| 特点 | |
|---|---|
| 1 | 五点控温技术 |
| 2 | 控温精度±0.2℃ |
| 3 | 板卡式设计,支持热插拔 |
| 4 | 双电源 |
| 5 | 双热偶控温，热电偶断路时，备偶能继续完成工艺 |
| 6 | 自动测量恒温区，自动保存修正温度 |
| 7 | 具有PLC无法实现的智能补偿功能 |
炉管管理：将炉管正处的状态直观的显示出来，主要显示炉管温度、时间等。
进程管理：“进程管理”窗口显示多个分窗口所有的数据，包括：工艺、通讯、系统控制板、温度、气路、电磁阀、推拉舟、模拟量输入、数字量输入等
曲线管理：曲线分实时曲线和历史曲线、事件及报警具有自动记录能，可随时查看调用，方便生产管理和控制。
工艺管理：工艺的创建、编写、修改、复制等都是在工艺管理中。工艺曲线可存贮几千条，每条工艺曲线最大工艺步数为128步。
控制温度表是关键表格，工艺程序中的控制温度、斜率、控制模式、控制允许偏差等都从该表中读出。
事件管理：显示系统自动记录发生的事件，记录内容包括时间、炉管、工艺、事件（报警、计算机的操作等）描述。