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LED退火炉
基础参数
恒温区
600-800mm
工艺温度范围
300-1000℃
控温精度
800.0~1300.0℃ ≤±0.3℃;400.0~ 800.0℃ ≤±0.6℃
工艺炉管
1-4
升降温速度
0.1~25.5℃/min
舟定位精度
≤±1.0mm’
舟速度
10-400mm/min